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怎么清洗石墨舟?

2019-10-09

石墨舟的清洗步骤如下:

1>.一般石墨舟在运行 100 至 120 次后就应该对石墨舟进行清洗,石墨舟清洗次数达到后,硅片会发红。 这是因为舟上的 SiN 会随着运行次数的增加而增加,影响舟的正常使用。


 2>.在室温条件下 (<40°C),将舟放入32升HF酸中,大约高过石墨舟1.5cm左右。


浓度是 10%, 腐蚀时间为 10-12小时。低浓度条件下,腐蚀槽会被产生的 SiN 颗粒污染,因此需要进行定期的过滤维护。 浓度高于 10%会对操作人员造成危险。其他部件应该被分开放入腐蚀槽内并且不可互相接触,这样 HF 酸就可以腐蚀到任何部位,这对于石墨连接块而言更为重要。


 3.在 2 号纯水槽内将其用纯水漂洗3次,每次2-3小时。


用 PH-试纸检查流动的水是不是中性的(基本数值5-6弱酸,为正常),必须保证蚀刻残渣(SiF4)都已经被洗掉,任何蚀刻残渣被带入炉管都可能引起沾污或者工艺问题。 可以在石墨上看到白色的一层就是残渣,其他部件都必须分开放置这样可以避免酸液残留在其中。


 4.用氮气枪吹干,在 120-150℃条件下,将石墨舟烘干10-12小时。


接着进行镀舟工艺,花费3小时20分-4小时。镀舟工艺与普通工艺不同,在镀舟结束后,先进行空镀,空镀后再进行插片使用。


 5.酸洗排酸时,喷淋要打开。水洗排水时,鼓泡要打开,让其流动。一般酸洗10-12小时可洗干净,如果没洗干净可先尝试补酸4升,直到清洗干净为止。还是没法洗净的话,需要严查清洗时间是否符合标准。

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